工艺流程通常有三种形式：
a、正压方式 新风➔过滤器➔活性氧离子发生器➔离子风➔污染散发空间 室外空气通过过滤器进入活性氧离子发生器，与活性氧离子发生器产生的高能离子形成高能离子风， 特有的送风系统将离子风扩散到需要处理的液面、空间，污染源在离子风的包覆下在界面上直接反应，从 而不会扩散到室外污染大气，氧离子有效氧化分解污染气体中的致臭分子和挥发性有机化合物，从而提高 区域空气质量，改善工作环境。
b、 负压方式 新风➔过滤器➔活性氧离子发生器 离子风 ➔污染空间➔气体收集系统 ➔离子反应装置 排风机➔达标排放 将污染严重的空间封闭，通 体收集系统将污染气体送入离子反应器；过滤后的新风经过活性氧离 子发生器产生大量的离子风，同时被送入离子反应器内；离子风和污染气体在离子反应器内充分混合、反 应，反应后的气体达标排放。
c、复合方式 新风➔过滤器➔活性氧离子发生器➔离子风➔轻度污染空间 离子风 重度污染空间➔气体收集系统➔离子反应装置➔排风机➔达标排放 活性氧离子发生器产生的高能离子风通过送风系统将离子风扩散到轻度污染空间，污染源在离子风 的包覆下直接反应，氧离子氧化分解污染气体中致臭分子，从而改善轻度污染空间的空气质量。而对于污 染严重的空间，则通 体收集系统将污染气体送入离子反应器；活性氧离子发生器产生大量的离子风同 时被送入离子反应器内；离子风和污染气体在离子反应器内充分混合、反应，反应后的气体达标排放。